专利摘要：本实用新型公开了一种基板磨削工作台和基板磨削装备，所述基板磨削工作台包括：安装座；旋转驱动部，其设置于所述安装座的下方；陶瓷吸盘，其设置于所述安装座的上方，以吸合待磨削的基板；所述安装座与陶瓷吸盘的接触处配置有辅助结构，其能够在所述接触处的至少部分区域形成真空，使得陶瓷吸盘紧密贴合于安装座的上方。所述基板磨削工作台是陶瓷吸盘真空吸合于安装座上方时，按照设定顺序安装固定螺栓，以保证陶瓷吸盘顶面的平整度。
今年以来华海清科新获得专利授权92个，较去年同期增加了87.76%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.39亿元，同比增63.98%。
数据来源：企查查
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